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概要
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オージェ電子分光法(電子書籍版)
: electronic bk
丸善出版
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利用状況
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詳細
| 登録番号 | 9MO011285 |
|---|---|
| 和洋区分 | 和書 |
| 書名,巻次,叢書名 | オージェ電子分光法(電子書籍版) : electronic bk |
| 巻 次 | : electronic bk |
| 版表示 | 電子書籍版 |
| 著者名 | 日本表面科学会(編) |
| 出 版 者 | 丸善出版 |
| 出版年月日 | 2012/01 |
| ISBN1 | 9784621048412 |
| 注記 | アクセス:WWWによる オージェ電子分光法は実用化されて既に25年ほど経過し、多くの事業所で材料の評価法として多用されている。また、単に解析のみではなく、半導体の製造ラインや、研究所の薄膜作成装置などにプロセス監視装置として組み込まれている。このようにオージェ電子分光法は「標準的」解析法となっているが、他の表面分析法と同様、正確なデータを取得するためにはノウハウを知らなければならないし、また装置や解析ソフトの進展も著しい。ここでは、詳しい原理的な解説は出来るだけ他書に譲り、装置のそばに置くマニュアルを作成するという基本構想で記述することに心がけ、読者に役立つノウハウなどを多く盛りこんだものとする。底本2001年発行。 |
| 配架場所コード | E003 メディカルオンライン |
| URLアドレス | https://mol.medicalonline.jp/library/ebooks/detail?id=14468 |
所蔵一覧
所蔵1 冊
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1登録番号
9MO011285
配架場所コードメディカルオンライン